上海跃仁真空器有限公司业从事真空腔、制造商和真空域应用供应商。
主要产品有:铝合腔、不锈钢腔、非标真空管道真空产品。
产品广泛应用于3C产品、光电、太阳能光伏产业等,所有产品均经过真空氦质谱漏出厂,拥有批技术过硬和经验丰富的工程技术团队,能够给用户提供全面系统的解决方案。
真空腔是保持内部为真空状态的容器,真空腔的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有良的腐蚀、放气率低、无磁、焊接好、导电率和导热率低、能够在-270—900℃工作等点,在高真空和超高真空系统中,应用广泛。
近年来,为了低真空腔的制作成本,采用铸造铝合来制作腔也逐渐普及。另外,采用钛合来制作特殊用途真空腔的例子也不少。
为了小腔内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔,多的是利用电解抛光来进行表面处。
焊接是真空腔制作中重要的环节之。为避大气中熔化的属和气发生反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电周围喷射保气氩气,以防止熔化后的高温属发生化反应。超高真空腔的氩弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空侧,以存在死角而发生虚漏。
真空腔的内壁表面吸附大量的气分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔进行150—250℃的高温烘烤,以促使材料表面和内部的气尽快放出。烘烤方式有在腔外壁缠绕加热带、在腔外壁固定铠装加热丝或直接将腔置于烘烤帐篷中。比较经济简的烘烤方是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,防止热量散失的同时也可使腔均匀受热。
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